另外和普通机器不同的是，阿斯麦的光刻机他是有一个完备的安装手册的，手册多达上百页，大部分都是一些安装数据参数，所有零部件都是有编号的，必须要按次序安装，而且这其中一颗螺丝的安装需要多大的力度，每一块镜片的偏差度多少，都是有严格标注的，另外光是底座的找平，就花费了整整一个上午的时间。
其实这个年代的光刻机远不如后世的光刻机那么复杂，2000年之后的阿斯麦光刻机，至少都是在10万个零部件左右，而现如今只有不到1万多个零部件，和汽车差不多相仿，然而组装的难度却依旧不小。
一微米制程的阿斯麦光刻机，完全称得上是当今世界上最先进的光刻机，他们用的还是德国蔡司镜头，从参数上来看，分辨率可以达到065微米左右，这应该是世界上最强的光学镜头。
虽然日本的尼康光刻机占据了国际市场的80的份额，但实际上尼康的光学镜头分辨率要稍逊一筹，在07微米左右虽然只相差005微米的分辨率，但这种差距实际上并不容易弥补。
而尼康的光刻机之所以远比阿斯麦光刻机畅销，究其原因主要还是因为日本国内厂商对本国光刻机的支持，以及美国对于欧洲技术超越的戒备，所以大部分情况下他们也会采购日本的光刻机，这也就导致阿斯麦公司的处境艰难。
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